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本文采用三氯化硼作反应试剂,研究一种新的蚀刻二氧化锡薄膜工艺.此工艺可以蚀刻1.5μm的线条,其分辨率好且精度高。
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- antimony oxide锑白,氧化锑;
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- titanic oxide二氧化钛;
- nitrous oxiden.氧化亚氮,笑气(旧时牙医用作麻醉剂)
- nitric oxide一氧化氮;
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- americium oxide[化] 氧化镅(有AmO,AmO-2,Am-2O-3);
- auric oxide氧化金;
- metal oxide electrode金属氧化物电极
- higher oxide高级氧化物
- high purity niobium oxide高纯氧化铌
- yttrium oxide氧化钇
- arsenious oxide[医] 氧化亚砷;
- high purity tantalum oxide高纯氧化钽
- zirconium oxide氧化锆;
- indium oxide氧化铟
- auro-auric oxide【化】四氧化四金,氧化正亚金
- arsenic oxide五氧化二砷;
- aryl oxide芳醚
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- examine v.检查;审查;(仔细地)检验;调查;考察;考查;测验(某人);(尤指在法庭上)审问,查问;考核;法庭询问;
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- role n.角色;地位;作用;
- upright adj.直立的;正直的;规矩的;n.立柱;
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