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指出了数字全息成像系统的焦深不仅与记录时的数值孔径及参考光波长有关,还与具体的光路结构及参考光的偏置有关。
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体全息共焦成像的动态范围取决于全息衍射效率和材料的限制,而深度分辨率则取决于物镜的数值孔径和记录介质的厚度大小。
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该物镜与国内外现有的紫外或深紫外光刻物镜相比,既能满足大数值孔径的需要,又能充分利用物镜的视场。
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光纤传光束的单丝直径为55μm,数值孔径为0.6,用10根光纤传光束均匀地分布在酸溶法光纤传像束的周围,提高了系统照明的均匀性和亮度;
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对圆柱形结构情况进行了数值模拟,得到了振荡波长、阈值增益随激光器内外半径、Bragg反射镜层折射率、周期数以及氧化孔径层厚度、位置和氧化物折射率的详细变化规律;
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根据数值模拟结果及系统对热效应和通光孔径的要求,给出了实际应用板条的参考尺寸。
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实验测试了不同像面位置的光斑形状,从而得出了样品的工作距和数值孔径等光学参数。并与仿真值、设计值进行了对比。
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散射光收集系统为单一大数值孔径的球面反射镜,其对粒子散射光的收集角范围从20°到160°。
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