为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统。
互联网摘选
GB/T14141-1993硅处延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法
互联网摘选
实验一装置:加热板与矽晶圆(右)连接至感温棒(左)。
互联网摘选
Electron probe microanalysis ( EPMA ) shows that silicon is only substituted for phosphorus.
电子探针分析结果表明,硅只取代磷进入SAPO -5分 子筛骨架.
互联网摘选
通过电子探针检测,测得了布敦岩沥青的矿物组成元素主要为碳、氧、硫、硅、镁、铝、钙、钾及铁等;
互联网摘选
本论文是以光学扫瞄系统为基础,针对矽晶片内部的结构成像设计出有效方便的架构。
互联网摘选
实验一装置: 加热板与矽晶圆 ( 右 ) 连接至感温棒 ( 左 ).
互联网摘选