论文还发现长时间氧气反应离子刻蚀能够提高氧化锌纳米棒光致发光特性的作用。
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Study of the self-optimizing power matching network used in plasma etching and reactive ion etching
PE/RIE用自寻优功率匹配器的研究
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Inductively coupled plasma reactive ion etching of InSb photovoltaic detector arrays
InSb阵列探测芯片的感应耦合等离子反应刻蚀研究
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Experimental Investigation of Fully Automatic Reactive Ion Etching 3 inch GaAs Wafer
全自动反应离子腐蚀3英寸GaAs片实验研究
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用CHF3进行SiO2反应离子腐蚀后Si表面的电特性
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Study on deep reactive ion etching of silicon using sf_6/ ccl_2f_2 with o_2 addition
SF6/CCl2F2反应离子深刻蚀硅中加O2的研究
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本文报道以无透镜傅里叶全息术变换记录的全息光栅作掩膜,应用反应离子束入射角控制光栅闪耀角,选择了合适刻蚀工艺参数,制得衍射效率为67%的SiO2全息闪耀光栅。
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反应离子束刻蚀技术已有效地用于研究和制造大规模和超大规模集成电路,声表面波器件,磁泡存储器,微波器件,集成光路,超导器件,闪烁光栅等。
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分析了用反应离子刻蚀(RIE)系统刻蚀多层难熔金属的可行性。
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Study on Deep Reactive Ion Etching of Polymethylmethacrylate Sheet Microstructure
商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究
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以SiO2为掩模,SF6刻蚀硅,用RIE与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针,针尖半径约50nm。
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