1、
2、
它不仅影响工艺窗口，即，曝光容裕度和焦深（DOF），而且也降低了掩模误差因子（MEF），这能导致附加的掩模费用。
互联网摘选
3、
它不仅影响工艺窗口，即，曝光容裕度和焦深（DOF），而且也降低了掩模误差因子（MEF），这能导致附加的掩模费用。
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