结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
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结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
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结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
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结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
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study on synthesis of monoesterificationmaleic(2-2 ethyl hexyl)ester by hwp
杂多酸催化合成马来酸(2-2乙基己基)酯的研究
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结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
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设计了一种由相位型空间光调制器(PSLM)、偏振光分束器(PBS)、反射镜、半波片(HWP)和四分之一波片(QWP)构成的2×2光开关。
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用FAO数据计算我国2003年碳贮量,其结果是我国统计数据的2~7倍。
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杂多酸(HWP)为催化剂,以顺丁烯二酸酐与仲辛醇为原料催化合成渗透剂T。
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