MEMC公司根据空位对氧沉淀的促进作用采用快速热处理(RTP)技术开发出一种新型的内吸杂工艺&魔幻洁净区工艺(MDZ(?)
互联网摘选
investigation of oxygen precipitation and internal gettering in czochralski silicon
直拉硅单晶的氧沉淀及内吸杂的研究
互联网摘选
研究了为提高基区少子寿命而进行磷吸收的机理。
互联网摘选
study on gettering of low contamination by helium-implantation-formed cavities in silicon
氦诱生微孔对硅中低浓度杂质吸除的研究
互联网摘选
用钛吸气方法改善HL-1装置的等离子体性能
互联网摘选
intrinsic gettering technology used in the process of silicon wafer and silicon device
硅片和硅器件工艺中的本征吸除技术
互联网摘选
theoretic analysis of intrinsic gettering and selection of annealing conditions
本征吸杂技术若干理论分析及退火工艺条件选择
互联网摘选
moreover, the gettering effect is evident with the aluminum layer increasing.
在不同厚度的铝膜的铝吸杂过程中,发现随着铝膜厚度的增加,吸杂效果更为明显。
互联网摘选
gettering of defects in polycrystalline silicon solar cells by porous silicon
多孔硅对多晶硅太阳电池中缺陷和杂质的吸除效应
互联网摘选
实验研究了锆铝吸气剂泵的多次再生的性能,结果表明,每经一次再生,抽速递减5%,吸气量递减17%。
互联网摘选