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Effect of Target Power and Bias on the Composition and Microstructure of BCN Films
靶功率和基体偏压对BCN薄膜成分及结构的影响
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采用射频 磁控溅射 技术制备出硼碳氮 ( BCN ) 薄膜.
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在B - C- N系 超硬材料中,除了金刚石和立方氮化硼(c - BN)以外, β-C_3N_4 、 立方氮碳化硼以及富勒烯等材料,也正日益受到国际材料界的重视.
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磁控溅射法 沉积硼碳氮薄膜,得到的硼碳氮薄膜可用 红外, 拉曼表征.
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It is found that the catalysts have a strong effect on the growth of BCN nanotubes.
实验中发现催化剂在BCN纳米管 的生长过程中有重要作用.
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