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1、
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写 、 反应离子刻蚀 、 离子束铣及薄膜沉积.
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2、
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
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