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本文首次研究了（100）硅的、边沿＜100＞方向掩膜的各向异性腐蚀凸角削角补偿技术，成功地解决了上述问题。
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The undercutting will appear if there is no compensation on convex corner in etching of Si.
在硅的腐蚀过程中,如果不对台面凸角加以补偿,会产生严重的削角现象.
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用（110）硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管
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