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由于单片机控制系统要实现和多个模块之间的串口通信,因此本设计采用循环扫描各个模块串口的设计来完成。
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单片机串口控制电路控制电控平移台的精确位移,实现了被测面的两维扫描,最小的横向位移为0.039μm,扩展后的视场达到12.5mm×12.5mm。
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序号自动扫描和软件信息检测极大地降低了繁琐的数据输入.
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