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1、
我们用该方法计算了硅压阻式加速度传感器五阶梯硅梁固频和振型.
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2、
对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差、温度漂移和动态特性等进行了分析研究，给出了它们的补偿原理及其实现方法。
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