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本文首先从MOCVD设备的结构入手,介绍了MOCVD系统的组成,并对各个组成部分功能做了简要描述,重点介绍了反应腔的结构。
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Thermodynamic Analysis of MOCVD Epitaxy Process Design for Ga In As Sb Alloy Semiconductor
Ga-In-As-Sb合金半导体MOCVD外延工艺设计的热力学分析
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研究了高温缓冲层厚度、外延层的生长速率以及富Zn环境对ZnO薄膜生长的影响,优化了生长工艺参数。
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MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究
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采用常压MOCVD方法在Cu/Si(111)基板上生长ZnO薄膜,研究了缓冲层的生长温度对ZnO外延膜性能的影响。
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反应室作为MOCVD设备的核心部件,其温度场的均匀性直接影响到生长材料的质量。
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与传统的MBE和MOCVD相比,ALE具有生长层厚度更均匀、缺陷密度更低、选择外廷中无边缘生长以及侧壁外延可控制到单原子层等优点。
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以Fe(CO)5为物源,在常压喷动流化反应器中,以金属有机化学气相沉积(MOCVD)法对云母粉进行包覆,制备铁系-云母珠光颜料。
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为解决金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题,给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复合控制方法。
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应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布拉格反射镜(DBR)反射谱的影响,并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积(MOCVD)制备布拉格反射镜精确确定外延厚度的方法。
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A brief introduction to CBE comparing with MBE and MOCVD is presented in this paper.
本文主要通过与MBE和MOCVD的对比,对CBE作了简单的介绍.
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锑化物半导体材料的MOCVD生长研究及其热光伏器件的模拟分析
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本文主要叙述采用RF反应离子镀、RF反应溅射、MOCVD和激光辅助蒸发等方法制备高度取向的ZnO薄膜。
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Recent advances in heteroepitaxial growth of high quality GaN films by MOCVD and HVPE is reviewed.
介绍了采用MOCVD或HVPE技术高质量异质外延生长GaN薄膜的发展状况.
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依照西安电子科技大学立式MOCVD原型建立立式反应室模型,并模拟了反应室中流场、温度场分布和生长速率分布。
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采用MOCVD技术在Si(111)衬底上生长GaN薄膜,以此材料制备成光导型Si基GaN紫外探测器。
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用常压金属化学气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上制备了马赛克结构ZnO单晶薄膜。
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MOCVD用高压汞灯对n-GaN处延层进行了辐照湿法化学刻蚀研究,这种外延层是在A12O3衬底上用MOCVD方法生长的。
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Continuous preparation of YBCO superconducting tape on a ag/ ni composited substate by dynamic MOCVD
动态MOCVD法在Ag/Ni复合基体上连续制备YBCO超导带
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Continuous preparation of YBCO superconducting tape on Ag substrate by MOCVD
在Ag基体上用MOCVD法连续制备YBCO超导带
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Analysis of reaction kinetics and numerical simulation of GaN growth by MOCVD
MOCVD生长GaN的反应动力学分析与数值模拟
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Metal Organic Chemical Vapor Deposition ( MOCVD ) is a key technology in growing thin-films.
金属有机化学气相沉积 ( OCVD ) 一门制备薄膜材料的关键技术.
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由金属有机气相沈积法(MOCVD)在载体孔内沈积钯膜有助于防止氢的脆化作用.
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MOCVD Growth of Carbon Doped GaAs/ AlGaAs High Power Semiconductor Lasers
MOCVD生长碳掺杂GaAs/AlGaAs大功率半导体激光器
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Performance Comparison of GaAs/ AlGaAs Quantum Well Infrared Photodetectors Grown by MOCVD and MBE
MOCVD与MBE生长GaAs/AlGaAs量子阱材料的红外探测器特性比较
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