结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
互联网摘选
Effect of the Substrate Temperature on the Formation of SOI Materials by O Ion Implantation
基片温度对氧离子注入硅形成SOI材料的影响
互联网摘选
As substrate temperature continuing rising, sp~ 3 bond proportion gradually decrease.
随着基底温度的继续增加,sp~3键含量逐渐下降。
互联网摘选
结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
互联网摘选
结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
互联网摘选
在可见光区域薄膜透射率和反射率随着基板温度的提高均有所下降。
互联网摘选
用带特殊热(冷)阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置,把吸收透明导电薄膜Au和In2O3分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上。
互联网摘选
实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W。
互联网摘选
当衬底温度较高时(>573K),溅射不再发生,熔滴的扁平粒子呈现规则的圆盘状;
互联网摘选
The methane concentration and the substrate temperature were studied.
着重研究了甲烷浓度、基体温度等工艺参数对热丝CVD法金刚石薄膜显微结构与性能的影响。
互联网摘选
结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
互联网摘选
In addition, the optical loss increases with substrate temperature rising.
此外,随着基板温度的提高,损耗也会有所增加。
互联网摘选
ZnO薄膜的光电学性质强烈依赖于其制备的工艺条件,如:基片温度、氧分压以及退火处理等。
互联网摘选
As substrate temperature rises, islands coalesce and grow into larger ones on the surface.
AFM分析表明,薄膜为岛状生长,随温度升高,表面生长岛尺寸增大,岛密度变小。
互联网摘选
通过XRD、SEM和Hall等测试手段研究了衬底温度和靶材中Na含量对ZnO薄膜性能的影响。
互联网摘选
通过改变沉积温度、反应气体比、沉淀时间等因素,系统研究了这些沉积工艺参数对Si3N4膜绝缘耐压性能的影响。
互联网摘选
应用直流磁控溅射方法,在500℃的衬底温度、纯氮气的溅射气体、800w溅射功率的条件下制备出(002)择优取向的TiN薄膜。
互联网摘选
发现适当降低聚焦加热灯强度、提高衬底加热温度可以降低固化前沿温度梯度,从而降低亚晶界等缺陷密度。
互联网摘选