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本文描述了用于近红外（0.85μm、1.3μm）的共焦球面腔结构的扫描干涉仪。
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通过光学系统和扫描系统的小型化设计，设计了体积为600mm×250mm×250mm的光纤绝对测距仪器；
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叙述了三维扫描系统的硬件实现，分析了二维水平扫描系统的扫描精度和垂直压电陶瓷微位移系统的结构和精度。
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提出了一种角锥棱镜扫描法，检测大口径干涉仪出射波前的准直性，指导干涉仪波前准直性的校准。
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