功率密度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响
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此外,该微波高温管式反应器还包含了阳极电源、灯丝电源、电气系统以及磁控管和电器元件的冷却系统。
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The power supply will be convenient for controlling the magnetron sputtering coater automatically.
该电源为磁控溅射镀膜设备实现自动控制提供了方便。
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Magnetron is often used as microwave power source in clinical linac magnetron.
在医用直线加速器中通常都采用磁控管作为微波功率源.
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在Corning1737玻璃衬底上射频磁控溅射沉积了铝掺杂ZnO薄膜(ZnO∶Al).薄膜沉积在衬底温度250℃、溅射功率100W和纯氩气氛中进行。
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