实验结果显示,平面步进驱动器样机在x向和y向都能灵活运动,并具有大行程和低于0.1μm的高的分辨率特性。
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其电机主轴穿过所述的平面齿刀盘,且顶部设置有旋转立体刀片。所述的刀片为一字型、十字型或Y字型。
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实验结果显示,平面步进驱动器样机在x向和y向都能灵活运动,并具有大行程和低于0.1μm的高的分辨率特性。
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其电机主轴穿过所述的平面齿刀盘,且顶部设置有旋转立体刀片。所述的刀片为一字型、十字型或Y字型。
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