1、
微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）是微米/纳米技术的重要组成部分。
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2、
进一步对两种典型的石墨烯NEMS器件，即毫米波开关和压力传感器，研究其在实际应用中的特性。
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3、
characterization and manufacturing techniques of nems are presented then.
讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术；
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4、
sub-micron and nano beam is the fundamental structure of the device used in mems and nems.
特征尺度在亚微米和纳米梁结构是多种纳微机电器件的基本结构。
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5、
according to the auditory principle of fish's stereocilium, a nems vector hydrophone is designed.
纳机电矢量水听器是一种新型的声音传感器，根据鱼类侧线听觉仿生学原理设计。
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As we shrink MEMS to NEMS, device physics becomes increasingly dominated by the surfaces.
当我们把尺寸从mems缩小到NEMS时, 表面在元件物理的地位就变得越加重要.
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10、
NEMS sensors are the electro-mechanical sensors, whose characteristic dimensions are in nanometers.
纳机电传感器指基于纳机电效应的 、 其特征尺寸在纳米级的传感器.
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