1、
有占地小，采用空气过滤（MFC）及气流导向穴FFU雪等控制系统，对局部环境进行温湿度控制等优点；
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2、
尘埃粒子计数器，尘埃粒子多点检测系统，浮游菌采样器，环境综合参数监测器，FFU中央控制器等。
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3、
4、
高强度型铝机架 、 高效FFU、离子静电风机等配置,使设备与工作环境及工艺要求进一步结合.
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