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这种方法是直接在硅衬底形成间隔的pn结隔离以阻止螺旋电感诱导的涡流。
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Study the Process of PN Junction isolation by a "Three-step Diffusion" Method
用三步扩散法实现PN结隔离工艺的研究
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射电望远镜接收机使用PN结隔离中频组件的一些结果
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