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Influence on Diffraction Efficiency of Volume Phase Holographic Grating Caused by Surface Undulation
表面起伏对体积相位全息光栅衍射效率的影响
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本文报道以无透镜傅里叶全息术变换记录的全息光栅作掩膜，应用反应离子束入射角控制光栅闪耀角，选择了合适刻蚀工艺参数，制得衍射效率为67%的SiO2全息闪耀光栅。
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