• 2026年07月12日 07:58:35
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1、

The reactants are initially pumped vertically downward by the viscose drag force of the high speed rotating disk, and then are deflected to form a flow region that is parallel to the wafer carrier.

反应物在初始阶段因高速旋转盘的牵引力被竖直向下地泵入，然后偏斜形成一个与衬底片托盘平行的流动区域。

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