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微坑-在扩散照明下可见的，晶圆片表面可区分的缺陷。
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微坑 - 在扩散照明下可见的, 晶圆片表面可区分的缺陷.
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本文讨论了由晶体缺陷所致的自增强衍射光，富集于缺陷的空间电荷所致的空洞场，以及由此场导致的发生在畴界上的静电斥力对此损伤所起的作用。
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