• 2026年07月14日 08:55:34
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1、

The linear ECR microwave plasma source is consist of microwave source, coaxial line waveguide, grounded grid electrode and magnetic field coil outside the vacuum chamber.

线性ECR微波等离子体源由微波源、同轴线波导、接地栅网电极和真空室外磁场线圈构成。

互联网摘选

2、

The ring-shaped source electrode is configured on the grid insulation layer.

环状源极配置于栅绝缘层上.

互联网摘选

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