研制出的样品经美国SEMATECH实验室应用评价其最佳分辨率为0.1μm,最小曝光量为26mJ/cm2,不但具有优异的分辨率和光敏性,而且还具有良好的粘附性和抗干法腐蚀性。
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接着进一步运用共生模型分析了美国SEMATECH联盟和我国物联网联盟两个典型案例。
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Sematech, a chip consortium, has moved to Albany from the high-tech magnet of Austin, Texas.
芯片联营企业——半导体制造技术联盟也从素有“高科技磁石”之称的德克萨斯州奥斯汀迁到奥尔巴尼;
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