基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制
互联网摘选
给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。
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然后,通过MATLAB/Simulink建立了光栅机械刻划颤振仿真模型,研究分析了各动力学参数及刻划工艺参数对颤振的影响规律,并提出了抑振措施。
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基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制
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给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。
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然后,通过MATLAB/Simulink建立了光栅机械刻划颤振仿真模型,研究分析了各动力学参数及刻划工艺参数对颤振的影响规律,并提出了抑振措施。
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