将加速度计安装在带有温控箱的盘式离心机上,通过改变温控箱的温度来改变加速度计的工作环境温度,研究加速度计在±50℃范围内的工作性能并建立加速度计温度误差模型。
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随着电容式加速度传感器的广泛使用,对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。
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本文介绍的石英挠性伺服加速度计,其分辨率可达5×10~(-8)g,在0~200Hz频率范围内,准确度优于±2%。
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硅微谐振式加速度计(Silicon Resonant Accelerometer,简称SRA)以其高精度、宽动态范围、低功耗和小尺寸等特点,广泛应用于军事及民用等领域,成为MEMS惯性传感器的研究热点之一。
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