• 2026年07月02日 10:13:52
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1、

Experiment results show that ZnO films with relatively large area and good thickness uniformity can be prepared by control of the substrate position in the muff heater.

实验结果表明利用圆筒形加热器及对衬底位置的控制可以在较小的加热器内获得相对尺寸大、厚度均匀性较好ZnO薄膜。

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