介绍了在天光一号MOPA光学角多路系统中,将6束KrF准分子激光引入靶室的方法以及聚焦系统的研制。
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Experimental study on precision machining K9 glass by KrF excimer laser
KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究
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实验研制了针对波长248nm KrF准分子激光的零级抑制石英相位掩模器。
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Fabrication of Zero order Nulled Silica Phase Masks for 248 nm KrF Excimer Laser
248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制
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文中给出了一个以氟化氪固体激光器做光源,以电荷耦合图像传感器为光屏,应用夫朗禾费衍射原理,实现对细丝直径在线检测自动控制。
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Dependence of optimized condition of KrF laser output on saturation parameters
KrF准分子激光的饱和参量与最佳激光输出
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