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measurement of the roughness of supersmooth surfaceusing optical heterodyne method
光学外差法检测超光滑表面粗糙度
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该系统保持了双频外差干涉共焦显微镜（DICM）的全部优点：用外差干涉和相位细分技术实现精测，使得轴向测量分辨率达到0.1nm；
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此法避免了该领域常用的外差干涉仪的不足和拍波干涉仪结构复杂的问题，而且测量精度高、抗干扰能力强、测量时间短，使绝对距离测量技术更具有实用性。
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本文介绍了一种利用光外差测量原理测量旋转转盘偏心距的新方法.
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