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ZrN thin films were prepared on 45 # steel by using ECR-microwave plasma source enhanced deposition.
利用ECR - 微波等离子溅射沉积技术不同偏压下在45 # 钢基体上制备了ZrN薄膜.
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Influence of Copper Sputtering on Thermal Stability of ZrN Diffusion Barrier
溅射Cu膜方式对ZrN扩散阻挡层热稳定性的影响
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Chromatic prediction model based on artificial neural network for ZrN films
基于人工神经网络的氮化锆薄膜颜色预测模型
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At present there has a lot of deposited methods about ZrN.
目前关于氮化锆薄膜的制备方法很多，直流反应溅射技术由于存在着阳极消失和迟滞效应的缺陷，严重的影响了薄膜的沉积速率。
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