在分析左右手复合传输线结构特性和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术基础上,设计分析了耦合蛇形线结构和横向热驱动MEMS开关。
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另外,随着微波技术、计算机技术和网络技术等高新技术的迅猛发展,各种导游系统也应运而生。
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微电子机械系统(MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。
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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分。
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基于课题的发展需要提出了用微机械电子系统(MEMS)技术来实现这一模块的微小型化。
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传感器技术、微机电系统、网络和无线通信等技术的进步,推动了无线传感器网络的产生和发展。
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超声波技术被广泛应用于微电子、光电子、微机电系统等先进制造技术封装领域。
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随着精密加工技术和微电子技术的发展,出现了越来越多的微电子机械系统(MEMS)器件。
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随着嵌入式系统、微电机系统、处理器、存储技术以及无线电技术的飞跃发展孕育了无线传感器网络这项新兴技术。
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随着微机电产品的小型化和微型化,微装配技术在微机电系统(MEMS)中发挥越来越重要的作用。
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传感器技术综合了物理、化学、生物工程学、微电子学、材料科学、微机械学(MEMS)、自动控制、计算机科学等多方面的知识和技术,并逐渐形成了一个专门的学科领域。
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随着航空航天技术以及微电子机械系统(MEMS)的发展和广泛应用,稀薄气体流动的研究越来越被重视。
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无线传感器网络是结合了传感器技术、通信技术、微机电系统和计算机技术的新兴技术。
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随着无线网络技术和微机电系统的飞速发展,微电子产品在民用工业和军事领域得到广泛的应用。
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物联网涉及的关键技术主要有:射频识别技术、无线传感网、嵌入式技术、纳米与微机电系统、分布式信息管理技术。
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随着微机电系统(MEMS)设计日趋成熟,度量问题越来越成为微系统技术中的热点。
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随着微系统技术(MST)、微机电系统(MEMS)的产业化,微细加工技术成为机械制造领域新的研究与应用热点。
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微电子机械技术的发展和微系统加工技术的成熟,使上述的要求成为可能。
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随着微细加工行业的日益增长的需求,多种光刻技术也得到了发展,其中包括激光干涉纳米光刻技术。
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以MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术为基础的微飞行器是目前航空航天领域最具吸引力的产品之一,而动力装置的微型化问题则是性能更强更灵活的新型微飞行器的关键技术。
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